波長多重光接続パッケージ内超高性能システム集積（WDM-OI-SiP）
2. 波長多重信号光配線の原理実証
図W-2に示す構成を設計、作製し、2つの導波モードを利用することで空間光アドドロップ機能や波長多重伝送機能が実現できることを、理論的実験的に検討しています。図W-4に作製した空間光アドドロップ素子を示します。Si基板もしくはガラス基板上にプラズマ支援化学気相堆積（P-CVD）法で堆積した石英系導波路に、電子ビーム描画リソグラフィおよび反応性イオンエッチングでグレーティングをパターニングしています。図W-5には、1Gbpsの疑似ランダム信号を2波長多重伝送したときのアイパターンを示します。FGCの結合効率が十分ではなく、アイは良好とは言えないまでも、多重信号伝送を確認しています。また、8波長多重においても消光比5dB以上を確認しています。
図W-4 導波路基板に作製集積したFGCとDBRの顕微鏡写真。出力側に使用する場合、波長多重信号TE0導波モード光は左から伝搬、入射し、FGCを通過後、DBRによりドロップ波長のみTE1導波モード光に逆方向結合され、FGCで集光空間光に取り出される。FGCの結合長は0.1mm、DBRの結合長は0.3mmである。評価実験の都合上、素子幅は必要以上に大きくしている。
図W-5 1Gbps2波長多重信号伝送で得られたアイダイアグラム。信号波長は851.5nmと856.5nm、光伝送路の挿入損失は17dB、クロストークノイズは–11dBであった。
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